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带Ring和不带Ring的6/8/12寸晶圆
以8”圆片计算, 2x≥45-55；5x≥20-26、10X≥10-12
相机采用高帧率相机，最快可达120帧
2X/5X/10X/20X自动切换(最小可检测缺陷5μm/2μm/1um/0.5μm)
凸块偏移、芯片偏移、连线断路、裂纹、划伤、脏污、腐蚀、Bump高度等
SECS\GEM
Class 200
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0755-89318001
